La composición de una fuente de haz de electrones corresponde al principio de un triodo.  De un cátodo, calentado directa- o indirectamente, emanan por emisión térmica electrones al vacío. Se aplica una alta tensión entre el ánodo y el cátodo. A la distancia entre cátodo y ánodo se la denomina aquí la distancia de aceleración. Entre cátodo y ánodo se encuentra la rejilla de control, con carga negativa frente al cátodo, y que se denomina Wehnelt. Con ella se controla la intensidad de la corriente del haz, o se la bloquea. Otro elemento importante es el aislador, que debe garantizar la resistencia a las descargas y la disipación de calor de la calefacción del cátodo.