Plaques de refroidissement pour installations de revêtement

Plaques de refroidissement pour installations de revêtement Les plaques de refroidissement par ex. en cuivre ou en titane sont utilisées dans des installations de revêtement, par exemple pour l'industrie des semi-conducteurs ou l'industrie solaire. Ces panneaux refroidis intensément peuvent être le matériau de support des cibles ou alors des plaques de refroidissement pour l'électronique de puissance. Dans la technologie UHV des installations de revêtement, des taux de fuite à moins de 10 -8 mbarl/s sont requis. Les taux de fuite requis sont facilement atteints au moyen de connexions soudées par faisceau d'électrons.  Les joints de recouvrement et les joints aboutés sont à cet égard adaptés de la même manière. Si nécessaire, différents matériaux peuvent également être combinés (voir exemple ci-dessus). « Le soudage par faisceau d'électrons à la place du vissage ou du brasage » est souvent moins cher et assure dans tous les cas une étanchéité pendant plus longtemps.

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